L'électrode dans la partie inférieure de la tête de la sonde XF-E 10 a une largeur d'environ 0,2 mm. Cela permet de localiser les plus petites sources de champ E, par ex. des conducteurs de 0,1 mm de large, des broches de CI individuelles sur des CI à haute polarité. Pour la mesure, la sonde de champ E est placée sur l'objet à mesurer.
La XF-E 10 est une sonde de champ proche passive. Elle possède la même structure de principe que les sondes XF-E 04 et XF-E 09, mais la résolution de la XF-E 10 est nettement plus élevée. Typiquement, la tête de la sonde est placée directement sur l'objet à mesurer (intensité de champ électrique élevée). Elle n'est pas adaptée aux mesures à grande distance comme celles effectuées avec la XF-E 04 et la XF-E 09. La sonde de champ proche est petite et maniable. Elle est dotée d'une atténuation de courant de gaine et sa face supérieure est blindée électriquement. La sonde de champ proche est connectée à un analyseur de spectre ou à un oscilloscope avec une entrée de 50 Ω. La sonde de champ E possède une résistance de terminaison interne.