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Serie
Zusammen mit unserem Partner bsw Testsystems & Consulting AG beraten wir Sie zu den modularen Wafer-Probesystemen der Herstellermarken Semishare und Signatone. Jede Probestation wird kundenspezifisch konfiguriert und auf Ihre individuelle Messanwendung mit dem Parameteranalysator abgestimmt.
Sie möchten mehr über den Einsatz Ihres Parameteranalysators mit einer Probestation wissen? Nehmen Sie hierzu gerne Kontakt mit unseren Experten auf.
Verschaffen Sie sich frühzeitig Klarheit über die elektrische Qualität Ihrer Chips und beschleunigen Sie die Produktentwicklung. Wenn Prozessabweichungen schnell erkannt werden, lassen sich Ausschuss oder Nacharbeiten vermeiden und Ausfallkosten reduzieren.
Die elektrischen Messungen mit einer Wafer-Probestation erfolgen über geeignete Messgeräte. Parameteranalysatoren und Curve Tracer bieten hierfür spezielle integrierte Funktionen, die für eine systematische Halbleiter-Charakterisierung erforderlich sind. Der Parameteranalysator bündelt Messfunktionen wie IV-, CV- oder Pulsmessungen sowie synchronisierte SMU-Kanäle in einem System. Der Curve Tracer ist stärker auf die Darstellung und Bewertung von IV-Kennlinien ausgerichtet. Beide Messgeräte werden eingesetzt, um das Verhalten von Bauelementen wie Dioden, Transistoren oder SiC-/GaN-Leistungshalbleiter sichtbar zu machen.
Als Partner von BSW können wir Ihnen mit den Probestationen eine vollständige Testlösung für die Wafer-Charakterisierung liefern. Zusammen mit einem Parameteranalysator oder Curve Tracer der Hersteller Keithley, Iwatsu und Keysight erhalten Sie damit ein hocheffizientes System, um Ihren Prüfling präzise zu kontaktieren und zu messen.
Die Kombination aus Probestation und Parameteranalysator bietet Ihnen eine Komplettlösung für die Halbleiter-Charakterisierung auf Wafer-Ebene.
Applikationsingenieur
| Anwendungen | Beispiele |
|---|---|
| Wafer- und Bauteilcharakterisierung | WAT/CP-Test, DC/IV/CV-Charakterisierung, Tests an Wafer-Dioden und -Transistoren |
| Zuverlässigkeits- und Belastungstest | Alterungs- und WLR-Test, Hochspannungs-/Hochstrom-Test |
| HF/mmW-Test | 1/f-Rauschtest |
| MEMS- und Optoelektronik-Test | LD-/LED-/PD-Test (Intensität und Wellenlänge) |
| Material-/Fehler-/Ausfallanalyse | Bewertung von Defekten und Prozessabweichungen |
| Spezialmessungen | Niedrigstrom-Test bis 100 fA |
Die Probestationen von Semishare und Signatone unterstützen präzise On-Wafer-Messungen von der manuellen Analyse bis zum vollautomatisierten Testablauf mit hohen Durchsätzen. Je nach Modellvariante bieten die Systeme eine hohe Positioniergenauigkeit, stabile Chuck- und Bewegungsplattformen sowie innovative Imaging-Funktionen. Messgeräte wie Ihr Parameteranalysator oder Curve Tracer können einfach integriert werden. Dadurch lassen sich unterschiedlichste Messaufgaben in Forschung, Entwicklung und produktionsnaher Qualitätssicherung effizient abbilden.
1. Der Wafer wird auf dem Chuck der Probestation platziert.
2. Über Mikroskop, Kamera und Positioniersystem wird der Wafer ausgerichtet.
3. Die Probes werden auf den Prüfling abgesenkt. Entscheidend sind eine stabile Kontaktkraft mit geringen Kontaktwiderständen und die reproduzierbare Positionierung.
4. Der Parameteranalysator wird über Messleitungen mit den Probes verbunden.
5. Der Analysator legt definierte Spannungen und Ströme an, misst die elektrische Antwort des Prüflings und erzeugt IV/CV-Kennlinien
6. Bei halb- oder vollautomatischen Systemen fährt die Probestation automatisiert zur nächsten Teststruktur. Die Messwerte werden für die Wafer-Bewertung gespeichert.
7. Die Daten zeigen u. a. Prozessabweichungen, defekte Dies, Randzonen-Effekte, Ausreißer oder systematische Fertigungsprobleme.
Möchten Sie mehr über Wafer-Probestationen für Ihre Anwendung wissen?
Als Partner der Firma BSW stehen wir Ihnen gerne für ein Beratungsgespräch zur Verfügung.
SEMISHARE ist ein führender Hersteller von modularen Wafer-Probesystemen für individuelle Testanforderungen in der Halbleiterindustrie. Zu den Hauptanwendungen gehören WAT/CP-Tests (Wafer- und Circuit-Tests), HF/mmW-Tests, I-V/C-V-Tests, MEMS- und optoelektronische Bauelemente-Tests. Das Unternehmen mit Sitz in China ist international ausgerichtet und arbeitet mit Distributoren wie BSW zusammen.
Signatone ist ein US-amerikanischer Hersteller von manuellen und halbautomatischen Wafer-Probesystemen für flexible Testanwendungen in der Halbleiterindustrie. Typische Einsatzbereiche sind On-Wafer-Probing, Bauteil-Charakterisierung, Material- und Fehleranalyse in der Halbleiterindustrie. Das Unternehmen mit Sitz in Kalifornien ist international ausgerichtet und arbeitet mit Distributoren wie BSW zusammen.
